Femtosekunden-Lasersystem (6 Lose)

Unter Nutzung der durch den vorhandenen Laser (Light Conversion PHAROS 2 SP) bereitgestellten Laserpulse (Pulslänge ca. 200 fs, Pulsenergie bis zu 1 mJ) sollen zwei Arten von Pulsen erzeugt werden: 1) Breitband-Weißlicht-Pulse (WL) im Spektralbereich 350 nm – 1250 nm (1 eV – 3,5 eV) mit maximalem Chirp über den geforderten Wellenlängenbereich von 2 ps. 2) Pulse (PUMP): System zur Erzeugung von Pulsen mit niedriger Bandbreite (eine Beschränkung der Bandbreite kann ggf. durch vorhandene Technik im Labor nachträglich erfolgen; Entscheidend ist, dass ein hinreichend energiereiches Ausgangsspektrum bereitgestellt wird – siehe dazu Bewertungskriterium LOS1-5), ggf. unter Verwendung vorkomprimierter Pulse. Bei direkter Verwendung der PHAROS Pulse stehen bis zu 500 μJ Pulsenergie als Eingang bereit.

Motorisierter Lineartisch (delay-line, DL) mit: - Verfahrweg 1 m oder länger - Wiederholgenauigkeit von 1 μm oder besser - Auflösung integriertes Linearmesssystem gleich/besser 50 nm - Wiederholfehler (bidirektional) mit Nachlaufregelung < 800 nm - Tragkraft mindestens 1500 N - Stellkraft mindestens 400 N - inkl. Softwareschnittstelle zur Ansteuerung

Polarisations-, Fokussier-, und Spiegeloptiken, Opto-Mechanik, beinhaltet: 1) ELLI: optische Elemente und optomechanische Halterungen zur Realisierung von automatisierten Ellipsometriemessungen in Polarizer – Sample – rotating Compensator – Analyzer (PSCRA) Konfiguration. Auf Lichteinfall Seite ist besondere Rücksicht auf die Vermeidung von Dispersion des Weißlichtpulses zu nehmen (Reflexionsoptik soweit möglich, Polarisationsoptik mit dünnem Trägermaterial). 2) RR: Retroreflektor (Cube Corner) für Anwendung in einer delay-line - insgesamt nutzbarer Wellenlängenbereich 250-1500 nm - Reflektivität 80%

Mikroskopobjektiv, infinity corrected (für verschiedene Wellenlängenbereiche können unterschiedliche Exemplare angeboten werden), mit: - Arbeitsabstand mindestens 10 mm - numerische Apertur mindestens 0,4 - insgesamt nutzbarer Wellenlängenbereich 350-1250 nm - Transmission 50% oder besser im nutzbaren Wellenlängenbereich

Abbildender einfach-Gitter-Monochromator (MO) mit: - Port zur Montage eines CCD-Zeilendetektors - Port mit einstellbarem Ausgangsspalt - Brennweite zwischen 240 mm – 480 mm - inkl. drei Gitter (600, 1200, 2400 Linien/mm) - inkl. Softwareschnittstelle und Steuerungssoftware - Bedienungsanleitung.

CCD-Zeilendetektor mit: - mindestens 1024 Pixel horizontal - Spektren-Ausleserate von mindestens 1 kHz möglich - QE mindestens 20% im Wellenlängenbereich 350 nm – 800 nm - inkl. Softwareschnittstelle und Bedienungsanleitung.